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升級(jí)款等離子刻蝕機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

升級(jí)款等離子刻蝕機(jī),外觀大方簡(jiǎn)潔,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,廣泛應(yīng)用于納米材料學(xué),半導(dǎo)體,微電子,光學(xué),電子學(xué),醫(yī)藥學(xué),環(huán)境學(xué),微流控生物學(xué),LED,石墨烯等不同領(lǐng)域。
主要用于以下實(shí)驗(yàn):表面清潔、表面活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡(jiǎn)單刻蝕、器械的消毒、去除表面有機(jī)物、疏水實(shí)驗(yàn)、鍍膜

產(chǎn)品型號(hào):PC-5S13/5D13

更新時(shí)間:2025-01-05

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :1171

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品特點(diǎn):

1.      5寸彩色觸摸屏操作界面,采用45°傾斜角度設(shè)計(jì),符合人體工程學(xué),操作簡(jiǎn)單友好。

2.      PLC自動(dòng)監(jiān)測(cè)控制工藝參數(shù),參數(shù)可存儲(chǔ),手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式任意切換。

3.      艙門,流量計(jì)內(nèi)凹式設(shè)計(jì),防止不小心磕碰損壞,更大氣美觀。

4.      松下高精度數(shù)字真空壓力表,實(shí)時(shí)檢測(cè)顯示艙體內(nèi)真實(shí)真空度,提供論文真實(shí)數(shù)據(jù)。

5.      氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)(MFC),可對(duì)多種氣體精準(zhǔn)控制。

6.      不銹鋼或石英真空艙體可選,艙體管路采用耐腐蝕材料。

7.      進(jìn)氣端口,氣體返填端口均配有HEPA高效過濾器,有效過濾空氣中污染顆粒及水分。

8.      真空泵配有油霧過濾器,可有效隔絕油氣溢散,保護(hù)實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

9.      使用成本低,無需進(jìn)行特殊維護(hù),日常使用中保持儀器清潔即可。

10.    具備優(yōu)良的安全保護(hù)措施,射頻模塊溫度異常升高時(shí),自動(dòng)關(guān)閉電源,保護(hù)樣品,提高設(shè)備安全性和穩(wěn)定性。

等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域,納米材料學(xué),半導(dǎo)體,微電子,光學(xué),電子學(xué),微流控生物學(xué),石墨烯,再造醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

PC-5S

PC-5S13

PC-5D

PC-5D13

射頻電源

40KHZ

13.56MHZ

40KHZ

13.56MHZ

射頻電源功率

0-200W

0-150W

0-200W

0-150W

匹配器

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

激發(fā)方式

電容式

電容式

電容式

電容式

艙體容積

5L

5L

5L

5L

艙體尺寸

D245mm*?155mm

D245mm*?155mm

D245mm*?155mm

D245mm*?155mm

艙體材質(zhì)

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

載物板尺寸

L245mm*W155mm

L245mm*W155mm

L245mm*W155mm

L245mm*W155mm

HEPA高效過濾器

最小過濾0.22um

最小過濾0.22um

最小過濾0.22um

最小過濾0.22um

氣體控制

浮子流量計(jì)可選質(zhì)量流量計(jì)(MFC

浮子流量計(jì)可選質(zhì)量流量計(jì)(MFC

浮子流量計(jì)可選質(zhì)量流量計(jì)(MFC

浮子流量計(jì)可選質(zhì)量流量計(jì)(MFC

氣體壓力穩(wěn)定時(shí)間

60s

60s

60s

60s

工作時(shí)間設(shè)定

1-9959秒可調(diào)

1-9959秒可調(diào)

1-9959秒可調(diào)

1-9959秒可調(diào)

真空度

100par

100par

100par

100par

真空泵

抽速8m3/h

抽速8m3/h

抽速8m3/h

抽速8m3/h

電源

AC220v5060HZ

AC220v5060HZ

AC220v5060HZ

AC220v5060HZ

產(chǎn)品尺寸

L41*W38*H50cm

L41*W38*H50cm

L41*W38*H50cm

L41*W38*H50cm

包裝尺寸

L49*W46*H58cm

L49*W46*H58cm

L49*W46*H58cm

L49*W46*H58cm

整機(jī)凈重

18kg

32kg

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32kg


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